隨著無塵潔凈廠房空氣質量、無塵潔凈度要求的進步，呈現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨向。無塵車間的溫濕度次要是依據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應思索到人的溫馨度感。

       無塵車間對溫濕度的控制決取于其生產工藝。在滿足加工工藝的條件下，還應該考慮到人的舒適感。因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。我們來看常見無塵車間對溫濕度有要求的工藝：

1、在精密機械加工和測量中，為了防止熱膨脹引起的誤差，工件必須保持一定的溫度。工件溫度的允許波動件溫度的允許波動幅度。由于工件測量儀器具有一定的熱惰性，空氣溫度波動傳遞給工件后會衰減。恒溫系統的設計一般以恒溫為基礎，因此相應的環境溫度精度可低于工件允許的溫度精度。因此，在確定恒溫室參數和選擇自動控制時，必須考慮恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自動控制系統之間的動態特性。

2、在電子行業，制造車間是產生靜電最重要的地方。通常，靜電會導致產品短路，甚至員工導電暈倒。因此，電子行業無塵車間的相對濕度不應低于30%，以減少靜電的產生。一般建議無塵車間防靜電區的相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣容易飛揚灰塵，電子廠無塵車間無特殊要求，溫度控制在22 ℃ 相對濕度控制在左右，在這種環境下，人們感到舒適，靜電消失了。