電子生產車間
SOLUTION
電子光學(半導體、PCB、芯片、晶片、攝像頭、光學鏡片、LCD、OLED、液晶、顯器件FED、多晶硅等)的生產對車間環境要求很嚴,制造工序不同,部分區域的潔凈度要求也不同,通常以十級、百級、千級、萬級、十萬級為標準。而每一個區域環境,如溫度、濕度,潔凈室工藝方面也要考慮照明、抗靜電、抗威震、廢棄廢水、大宗氣體和特殊氣體的排放等,同樣有規范標準,這些環境參數關系到產品的合格率和使用壽命,因此超潔凈車間才能賦予產品品質上的首要保障。
DESIGN
QUALITY
潔凈度測試
FFU測試
靜壓測試
照明度測試
溫濕度測試
防靜電測試
測試儀器:潔凈度測試使用微粒計數器,儀器須經校正合格且仍在有效期限內及均須檢附合格之校正檔。
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潔凈度等級定級的粒徑范圍0.1~5.0μm。
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測試步驟:確定采樣點數量、繪制采樣點布置圖、確定測試儀器和采樣量、現場采樣、數據計算分析。
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每個采樣點最少采樣時間為1分鐘,且采樣量應按照采用設備為準取值。
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信賴度上限:任一無塵室或獨立的隔間,若是取樣點數小于10(2到9),每一取樣點的平均值代表該點的微粒量測值。
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檢查空氣管和探頭有沒堵塞。
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將探頭的支撐腳緊貼于FFU表面、穩定。
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由于是壓差式風速計,因此讀數時注意空氣管不可被擠壓,不可晃動。
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每片FFU測量兩點,計算平均值。
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要求FFU風速上下相差不可大于20%。
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靜壓差的測定應在潔凈室(區)的風速、風量和送風均勻性檢測合格后進行,并應在所有的門關閉時檢測。
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儀器宜采用各種微差壓力計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。
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級別不同的潔凈室區域與非潔凈室區域之間的靜壓差,不小于5Pa。
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潔凈室與室外的靜壓差,不應小于10Pa。
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打開空氣潔凈度等級高于百級的單向流潔凈室門時,門內0.6米的室內工作區含塵濃度不應大于相應級別的含塵濃度限值。
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照度的測定要求室內照度的測定必須在室溫穩定,光源光輸出穩定后再進行測定。
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照度的測定方法:第一,照度的測點應距離地面0.85m, 按間距1~2m布點,測點距離墻1m。第二,記錄實測值并計算總的平均照度。第三,照度測定一般是不含局部照明以外的一般照明。
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合格標準: 應符合設計要求,根據(潔凈廠房設計規范)的要求,潔凈室內一般照明的均勻度不應小于0.7。
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凈化車間內的空氣環境溫度和相對濕度在檢測之前,凈化空調系統必須持續運作起碼12個小時以上。
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依據環境溫度和相對濕度波動范圍,檢測宜持續開展8-48小時,每一次檢測間隔時間不可超出30分鐘。
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凈化車間內的測點通常應布置在距外墻表面層超出0.5米、距地0.8米的相同高度上;也可依據區域大小,各自布置在距地不一樣高度的多個平面上。
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靜電測試的目地是量測空氣中正離子與負離子的含量,依此數據可模擬物體在該氣流場中之殘余表面電壓。
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防靜電測試方面通常為地面靜電測試,測試的環境溫度15-35℃,相對濕度45%-70%(測試設備不同,標準也會不同,僅供參考)。
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